Super Wave
Leonis-532
特徴
●世界最大クラスの高出力GRピコ秒レーザー
●バーストモード可能
●POD、PSO機能搭載でより高品質、高精度な加工が可能
●バーストモード可能
●POD、PSO機能搭載でより高品質、高精度な加工が可能
紹介文
薄膜太陽電池やタッチパネルで使用される、透明導電膜や電極層のパターニングに適しています。
また金属箔やSiなどの半導体材料にバリや熱影響を抑えつつ高速に切断することも可能です。
また金属箔やSiなどの半導体材料にバリや熱影響を抑えつつ高速に切断することも可能です。
| 型番 | Leonis-532-8 | Leonis-532-30 | Leonis-532-80 | Leonis-532-120 | Leonis-532-200 |
| 中心波長 | 532±0.5 nm | 532±0.5 nm | 532±0.5 nm | 532±0.5 nm | 532±0.6 nm |
| レーザー出力 | 8W@100 kHz | 30 W@100 kHz | 80 W@400 kHz | 120 W@400 kHz | 200 W@1 MHz |
| 繰り返し周波数 | 1 Hz~1 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 80 μJ | 300 μJ | 200 μJ | 300 μJ | 200 μJ |
| 出力安定性 | <1.5%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | ~7 ps | ~7 ps | ~7 ps | ~15 ps | ~15 ps |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀，M²≤1.2 | TEM₀₀，M²≤1.2 | TEM₀₀，M²≤1.3 | TEM₀₀，M²≤1.3 |
| ビーム真円度 | >90% | >90% | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 1.5±0.5 mm | 1.5±0.5 mm | 1.5±0.5 mm | 2.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm |
| バースト個数 | 1~3 | 1~3 | 1~3 | 1~3 | 1~3 |
| 寸法 | 600*288*132.5 mm³ | 800*364*140 mm³ | 800*364*140 mm³ | 800*420*139.5 mm³ | 980*560*153 mm³ |
| 周波数トリガー方式 | PSO/POD/Gate mode, and TTL trigger | PSO/POD/Gate mode, and TTL trigger | PSO/POD/Gate mode, and TTL trigger | PSO/POD/Gate mode, and TTL trigger | PSO/POD/Gate mode, and TTL trigger |
| 出力外部制御 | 0~5 V，線形制御 | 0~5 V，線形制御 | 0~5 V，線形制御 | 0~5 V，線形制御 | 0~5 V，線形制御 |
| 予熱時間 | 15 min | 15 min | 15 min | 15 min | 15 min |
| 電源 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 動作湿度 | <60% RH@25℃ | <60% RH@25℃ | <60% RH@25℃ | <60% RH@25℃ | <60% RH@25℃ |
| 動作温度 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30℃ | 22~30℃ |
| 冷却方式 | 水循環冷却 | 水循環冷却 | 水循環冷却 | 水循環冷却 | 水循環冷却 |
