スキャニングミラーは、ガルバノメータを利用してレーザービームを高速かつ高精度に制御・走査する光学部品です。X軸・Y軸ミラーの反射率は99.5%以上で、入力電流に比例した角度で光を正確に偏向させます。プロセッサ、増幅器、ガルバノモータ、光センサーなどから成るクローズドループ制御により、高速・高精度なスキャンを実現します。
対応波長帯域：10.6 µm、1064 nm、532 nm、355 nm