FEELTEK
FEシリーズ
特徴
●XY軸に加えZ軸スキャンが可能
●ガラス穴あけ加工に最適
●ガラス穴あけ加工に最適
技術仕様
| 項目 | 入力電圧(VDC) | ±15 |
| カレント(A) | 10A | |
| プロトコル | XY2-100 Protocol | |
| 冷却状態 | 冷却媒体 | 蒸留水または脱イオン水 防錆剤添加 |
| 気温(°C) | 22-28 | |
| 冷却圧力(bar) | 2~3 | |
| 推奨流量(l/min) | 4~6 |
基本仕様
| 型番 | FE10 | FE15 | FE20 |
| 重量 (KG) | 5.6 | 6.7 | 9 |
| 寸法(mm) | 297*125*120 | 339*125*120 | 337*134*153.5 |
バージョン別使用
| 型番 | FE10 | FE15 | FE20 | |||||
| Version | Std | Pro | P2 | Std | Pro | P2 | Pro | P2 |
| トラッキング・エラー(ms) | ≤0.18 | ≤0.18 | ≤0.18 | ≤0.21 | ≤0.21 | ≤0.2 | ≤0.28 | ≤0.27 |
| 繰り返し精度 / 再現性(μrad) | 8 | 8 | 5 | 8 | 8 | 5 | 8 | 5 |
| 温度ドリフト(μrad/k) | <100 | <100 | <50 | <100 | <100 | <50 | <100 | <50 |
| 長期ドリフト(>24h, 室内温度)(mrad) | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | ≤0.2 | ≤0.1 |
| 最大加工速度(sharacters/s)(high-quality mode) | 600@100x100 | 650@100x100 | 500@100x100 | |||||
| 動作温度(°C) | 25℃±10℃ | |||||||
FE10光学仕様
| 波長 | 355nm | 532nm | 1064nm | ||
| 開口径(mm) | ≤10mm | ≤10mm | ≤10mm | ||
| 入力倍率オプション | 2X | 2.66X | 2X | 2.66X | 1.16X |
| Z 深度1) | ±5mm / ±25mm | ||||
FE15光学仕様
| 波長 | 355nm | 532nm | 1064nm | ||
| 開口径(mm) | ≤15mm | ≤15mm | ≤15mm | ||
| 入力倍率オプション | 2X | 2.66X | 2X | 2.66X | 1.66X |
| Z 深度 2) | ±5mm / ±25mm | ||||
FE20光学仕様
| 波長 | 1064nm | ||||
| 開口径(mm) | ≤20mm | ||||
| 入力倍率オプション | 2.1X | 2.57X | 2.66X | ||
| Z 深度 3) | ±5mm | ||||
| 1), 2), 3)オプションで長焦点距離と短焦点距離バージョンがあります。マニュアルデータは150×150mm以下のF-θ254に基づいています。 単焦点の場合は±5mm、長焦点の場合は20mmです。 |
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